特氣在工業(yè)氣體供應商運行管理中的分類(lèi)方法

　　特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體的性質(zhì)是安全運行與管理的基礎。在儲存、操作、處置氣體之前須了解該特氣的MSDS，即材料安全數據表。依據MSDS特氣可以有多種分類(lèi)方式。為了便于運行管理特氣，工業(yè)氣體供應商衡山宇介紹以下幾種分類(lèi)方法。

　　1.按特氣在壓力容器中的狀態(tài)分類(lèi)

　　特氣在運輸、儲存、輸送過(guò)程中都充裝在壓力容器中。氣體在壓力容器中將填充到所有角落，且對容器的器壁壓力是均衡的。在一般填充壓力和溫度下始終保持氣體形式存在的稱(chēng)之為永久性氣體，而發(fā)生液化現象的氣體，稱(chēng)之為液化氣。液化氣又分為兩種類(lèi)型，高壓液化氣如：HCL、N2O;低壓液化氣如：NH3、CL2、PH3。由于在使用永久性氣體時(shí)壓力容器內的壓力將逐漸降低，而在使用液化氣時(shí)，壓力容器內只要有液體存在則壓力不會(huì )發(fā)生變化，因此工業(yè)氣體供應商在氣體運行管理中，監控永久性氣體殘余量的方法為壓力監控，而監控液化氣的殘余量需加裝電子稱(chēng)，采用重量監控的方法。

　　2.按特氣比重分類(lèi)

　　比重也稱(chēng)相對密度，氣體的比重是指該氣體的密度與標準狀況下空氣密度的比值。工業(yè)氣體供應商在特氣運行管理中，氣體比重可以用該氣體分子量直觀(guān)體現?？諝獾姆肿恿繛?8.8，以空氣分子量為分界點(diǎn)，工業(yè)中常見(jiàn)的比空氣輕的氣體有：H2、He、NH3、CH4等等;比空氣重的氣體有：AsH3、PH3、SIH4、CF4等等。這兩類(lèi)氣體的運行管理方式是不同的，比如氣柜內比空氣輕的氣體的抽風(fēng)位置和氣體采樣點(diǎn)在鋼瓶上方，而比空氣重的氣體的抽風(fēng)位置和氣體采樣點(diǎn)在鋼瓶下方。需注意的是運行管理中的氣體一般都在非標準狀況下，因此與空氣分子量接近的氣體隨著(zhù)溫度的不同會(huì )有例外，如常溫或高溫N2會(huì )比空氣輕。而冷的N2會(huì )比空氣重。

　　計算混合氣的分子量，首先確定混合氣的氣體組成及各組成氣體的分子量。比如計算1%PH3/He的分子量，PH3分子量為34，He分子量為4，計算公式如下：34×0.01+4×0.99=4.3

　　3.按特氣的化學(xué)性質(zhì)分類(lèi)

　　工業(yè)氣體供應商依據其化學(xué)性質(zhì)，將特氣分為惰性氣體、可燃性氣體、自燃性氣體、氧化性氣體及腐蝕性氣體幾種。工業(yè)上常用的惰性氣體有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等;可燃性氣體有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB;自燃性氣體有SiH4、PH3等;氧化性氣體有NO、NF3等;腐蝕性氣體有HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是，很多特氣都同時(shí)兼具以上兩種性質(zhì)，如SiH2Cl2、SiHCl3同時(shí)具有可燃性和腐蝕性。再如Cl2、F2同時(shí)具有腐蝕性和氧化性。

　　一般半導體、光伏等行業(yè)在其主體廠(chǎng)房一層，洛陽(yáng)加氣站都建有專(zhuān)門(mén)的特氣房，并根據所用氣體的種類(lèi)和性質(zhì)劃分不同的氣體間。如果廠(chǎng)房所用特氣為高毒、易燃易爆且存儲量達到規定值時(shí)，則需在離廠(chǎng)房安全距離以外的區域建立氣站為產(chǎn)線(xiàn)供氣。