洛陽混合氣體和計量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點(diǎn)，但又有許多不同，混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要?dú)怏w具有優(yōu)良的品質(zhì)，換言之，混合氣體必須要確?；旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線，也應(yīng)對混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值。
1、混合氣體的氣瓶處理
同其他氣體不同，對盛裝混合氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格，否則，即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高，穩(wěn)定性再好也無法使用。
首先混合氣體的氣瓶幾何尺寸，如體積、直徑、瓶高度要滿足用戶要求。在半導(dǎo)體等領(lǐng)域，氣瓶通常安放在氣瓶柜內(nèi)使用，氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后，氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。對于不同種類的洛陽混合氣體在氣瓶色標(biāo)、警示標(biāo)志等方面國外已有極其詳細(xì)的標(biāo)準(zhǔn)，如美國的CGA、歐盟的ISO等，我們國家在此方面仍在認(rèn)識和完善中。
2、混合氣體配制裝置技術(shù)要求
同其他標(biāo)準(zhǔn)氣體制備不同的是，配制混合氣體的裝置似乎更為復(fù)雜，洛陽混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP級別，材質(zhì)為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0.25級，材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng)。
混合氣常用的平衡氣或稱底氣：N2，H2，He，Ar，O2;組分氣：PH3，SiH4，B2h6，Sih6，GeH4，AsH3，TMB，BF3等，為了減少平衡氣體中有害雜質(zhì)的含量，設(shè)有平衡氣體高壓凈化器，通過凈化平衡氣的純度大于99.9999%，在凈化器的出口設(shè)有在線H2O，O2檢測儀表，隨時反映凈化器出口氣體關(guān)鍵雜質(zhì)的含量。
如有二氧化碳、氧氣、氬氣、混合氣、乙炔、丙烷、氮?dú)?、氦氣、?biāo)準(zhǔn)氣等氣體需求，可隨時聯(lián)系工業(yè)氣體供應(yīng)商衡山宇，公司立志做良心品牌，氣體質(zhì)量純，質(zhì)優(yōu)價廉，歡迎選購!
文章來源于洛陽衡山宇氣體有限公司官網(wǎng)：http://qdhenghui.cn
免責(zé)聲明：本站部分圖片和文字來源于網(wǎng)絡(luò)收集整理，僅供學(xué)習(xí)交流，版權(quán)歸原作者所有，并不代表我站觀點(diǎn)。本站將不承擔(dān)任何法律責(zé)任，如果有侵犯到您的權(quán)利，請及時聯(lián)系我們刪除。